| 发明名称 |
Magnetron cathode |
| 摘要 |
A magnetron cathode for a cathode sputtering system has a target holder for holding a target 9 where the erosion zone is opposite the substrate. The non-sputtering target surfaces 9a are covered with a barrier layer or protective layer 21.
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| 申请公布号 |
US5540823(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
| 申请号 |
US19920864177 |
申请日期 |
1992.04.03 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
FRITSCHE, WOLF-ECKART |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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