发明名称 CIRCUIT ARRANGEMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH08194729(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950004080 申请日期 1995.01.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWAGUCHI KENICHI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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