| 发明名称 |
VERTICAL SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08195388(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
| 申请号 |
JP19950005002 |
申请日期 |
1995.01.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAMA MASAHARU;YANAGI MOTONORI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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