| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING INTERFERENCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08193817(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
| 申请号 |
JP19950004912 |
申请日期 |
1995.01.17 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
UEDA TERU;INADA KEIJI;OZAKI TAKASHI |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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