发明名称 SOI SUBSTRATE, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08195483(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950006291 申请日期 1995.01.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMAOKI YOICHI;IKEDA TAKAHIDE
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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