发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08195356(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950003565 申请日期 1995.01.12
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 OZAWA SHOICHI
分类号 G02B6/122;H01L21/261;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):H01L21/261;H01S3/18 主分类号 G02B6/122
代理机构 代理人
主权项
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