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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08195390(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950004550 申请日期 1995.01.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OTANI KOZO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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