FORMATION OF WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19950005952-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH08195394(A)	申请公布日期	1996.07.30
申请号	JP19950005952	申请日期	1995.01.18
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	HARADA MUNEO
分类号	H01L21/3213;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321	主分类号	H01L21/3213
代理机构		代理人
主权项
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