发明名称 增加转移至支撑上之材料之有用层之面积之方法(二) A METHOD OF INCREASING THE AREA OF A USEFUL LAYER OF MATERIAL TRANSFERRED ONTO A SUPPORT
摘要 本发明关于一种增加源自来源基板(6)并已被转移至支撑基板(7)上之材料之有用层(63)的面积之方法。本发明值得注意之处在于:两个基板之其中一个系由主倒角(74、64)之一所包围,其前面显现出轮廓(C7)之至少一平坦地带(70);另一个基板之前面系为平坦地带(67),其以垂直或准垂直于该处之周边侧面(66)为边界,该平坦地带(67)之外轮廓(C”6)显现出大于第一基板(7)之该平坦地带(70)之外轮廓(C7)之尺寸;以及在接合期间,两个基板(6、7)系以该平坦地带(70)之轮廓(C7)被内接在该平坦地带(67)之轮廓(C”6)内的这种方式来将其中一个基板黏合至另一基板。本发明系适合制造电子、光学、或光电之合成基板。
申请公布号 TW200423294 申请公布日期 2004.11.01
申请号 TW092119345 申请日期 2003.07.16
申请人 斯欧埃技术公司 发明人 马勒文
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人 黄庆源
主权项
地址 法国