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发明名称 Halbleiterbauelement mit einem dielektrischen Isolierungsbereich mit der Struktur einer U-förmigen Nut
摘要
申请公布号 DE69025888(T2) 申请公布日期 1996.07.25
申请号 DE19906025888T 申请日期 1990.12.19
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KISHI, SHUJI, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L21/321;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
主权项
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