微电动机械电视扫描装置及其制造方法

摘要

一种用于电视图象扫描或相关功能的电致动的微电动机械电视扫描装置。该扫描装置能以具有亚毫米范围内的特征尺寸的形式制造。该扫描装置还包括一块具有两个自由度的电致动板(30)。一个准直辐射发射器、准直辐射检测器(52)或其它适当的器件可置于板上或从板上反射出，以方便该装置作为一飞点扫描器、电视图象析象器或电视显示器工作。该扫描装置能类似于单片集成电路制造。

主权项

1、一种扫描装置，包括：一块基板；位于基板上的一个柔性接头；连接在柔性接头上的一个支座；形成在基板、柔性接头及支座中至少一个上的一个致动器，该致动器能使支座相对于基板运动；以及该支座的上表面上的一个辐射准直元件。