发明名称
摘要
申请公布号 JP2517392(B2) 申请公布日期 1996.07.24
申请号 JP19890098366 申请日期 1989.04.18
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 MINORA SEIJI;HORIO TAISHIN
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址