发明名称 Method of drying a protective polymer coating applied onto a surface of an article from a solution, and device for effecting thereof
摘要
申请公布号 GB2272173(B) 申请公布日期 1996.07.24
申请号 GB19920023109 申请日期 1992.11.04
申请人 * NAUCHNO-PROIZVODSTVENNAYA FIRMA AKTSIONERNOE OBSCHESTVO ZAKRYTOGO TIPA "TEKHNOLOGIA, OBORUDOVANIE, MATERIALY" 发明人 VLADIMIR ALEXANDROVICH * PEREMYSCHEV
分类号 B05C9/12;B05C9/14;B05D3/00;B05D3/02;B05D3/04;B05D3/12;F26B3/00;F26B7/00;F26B15/12;F26B15/18;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/56;(IPC1-7):B05D3/00 主分类号 B05C9/12
代理机构 代理人
主权项
地址