| 发明名称 |
VAPOR DRYER, CLEANING APPARATUS HAVING THE SAME ASSEMBLED, AND VAPOR DRYING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08189768(A) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
JP19950003247 |
申请日期 |
1995.01.12 |
| 申请人 |
RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANAKA HIROSHI;DOI NOBUAKI;OMORI MASASHI;ISHIKAWA HIROAKI |
| 分类号 |
F26B3/04;F26B5/04;F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B21/00 |
主分类号 |
F26B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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