发明名称 OPTICAL FILM STRUCTURE MEASURING APPARATUS AND FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH08189812(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950216753 申请日期 1995.08.02
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KOBORI HIDEYUKI;SUGIYAMA KUNITOSHI;KAWAGUCHI YUICHI
分类号 G01B11/02;G11B7/26;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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