发明名称 HIGH FREQUENCY ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH08190884(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950018561 申请日期 1995.01.09
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 OKUTE YASUHIRO;MAENO SHUICHI
分类号 H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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