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发明名称 XY STAGE
摘要
申请公布号 JPH08190431(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950001932 申请日期 1995.01.10
申请人 NIPPON SEIKO KK 发明人 ENDO SHIGERU
分类号 G05D3/00;H02K41/02;(IPC1-7):G05D3/00 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
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