发明名称 APPARATUS OF LOW PRESSURE COATING
摘要
申请公布号 KR960006357(Y1) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 KR19930010958U 申请日期 1993.06.21
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 KANG, HEE - SOON
分类号 G03F7/16;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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