| 发明名称 |
APPARATUS OF CLEANING PARTICLE IN STEPPER ALIGNMENT SCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960006359(Y1) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
KR19930008583U |
申请日期 |
1993.05.20 |
| 申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. |
发明人 |
KIM, MOON - HWAN |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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