| 发明名称 |
OPTICAL PROJECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08190047(A) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
JP19950000872 |
申请日期 |
1995.01.06 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MATSUZAWA HITOSHI;KOBAYASHI MISAKO;ENDO KAZUMASA;SUENAGA YUTAKA |
| 分类号 |
G02B9/62;G02B13/22;G02B13/24;G03F7/20;(IPC1-7):G02B13/24 |
主分类号 |
G02B9/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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