| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08191049(A) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
JP19950002549 |
申请日期 |
1995.01.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUSHIMA MASARU;SUZUKI TATSUTO;KANEKO YUTAKA;MIYATA TOSHIMITSU;KANETOMO MASABUMI;MIKI HIROSHI;MATSUMOTO YASUSHI;SATO SHOICHI |
| 分类号 |
H05B3/00;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/324;H05B3/10;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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