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发明名称 Pulsed ion beam assisted deposition
摘要
申请公布号 IL116876(D0) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 IL19960116876 申请日期 1996.01.23
申请人 SANDIA CORPORATION 发明人
分类号 B23K15/00;C23C14/22;C23C14/58;C23C26/02;H01J27/14;H01J37/317;H01L21/203;(IPC1-7):H01J 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
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