| 发明名称 |
DEPOSITION FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08191066(A) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
JP19950261343 |
申请日期 |
1995.10.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHOJI TATSUMI;FURUSHIMA TERUHIKO;MORIMOTO KENJI;FUKAYA MASAKI |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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