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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08191058(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950003030 申请日期 1995.01.12
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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