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经营范围
发明名称
ION TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08190888(A)
申请公布日期
1996.07.23
申请号
JP19950019814
申请日期
1995.01.11
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
NISHIGAMI YASUAKI
分类号
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
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