| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08191055(A) |
申请公布日期 |
1996.07.23 |
| 申请号 |
JP19950001424 |
申请日期 |
1995.01.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TERANO AKIHISA;MASUDA HIROSHI;TAGAMI TOMONORI |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/47;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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