发明名称 光学信号之序列路径
摘要 一种光学信号散布网路,其系包含有一半导体基板,该半导体基板包括一形成于其中以承载一光学信号的波导;及在该波导内之多个侦测器,沿其长度序列放置,各侦测器可侦测传经侦测器之光学信号,并且对该光学信号足够透明以使该光学信号可到达而被所有多个侦测器侦测到。
申请公布号 TWI286228 申请公布日期 2007.09.01
申请号 TW093115566 申请日期 2004.05.31
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 威斯特罗伦斯C WEST, LAWRENCE C.;梅登丹
分类号 G02B6/28(2006.01) 主分类号 G02B6/28(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 1.一种电路,该电路至少包含: 一半导体基板,其系包含有一形成于其中以承载一 光学信号的波导;及 多个光学侦测器,其系沿着该波导之长度序列放置 ,各光学侦测器可侦测穿过光学侦测器之一光学信 号,且也对该光学信号足够透明以使该光学信号到 达而被所有上述多个侦测器侦测到,其中该多个光 学侦测器之所有者系设计以在相同波导侦测光。 2.根据申请专利范围第1项之电路,其中该基板系矽 ,且该波导系SiGe(矽锗)。 3.根据申请专利范围第1项之电路,其中该波导系呈 弯曲状。 4.根据申请专利范围第1项之电路,其中该波导系呈 螺旋状。 5.根据申请专利范围第1项之电路,其中该光学信号 系一光学时脉信号。 6.根据申请专利范围第1项之电路,更包含一光学信 号来源,其系位于该半导体基板外以传递该光学信 号至该光学波导,及一光学系统,其系用以将来自 该光学信号来源之光学信号耦合至该波导中。 7.根据申请专利范围第1项之电路,更包含一第二半 导体基板,其系制造于该第一提及之半导体基板顶 端,该第二半导体基板包含制造于其中之半导体积 体微电子电路,其中多个光学侦测器的每一者各电 连接至该第二半导体基板中之微电子电路。 8.根据申请专利范围第1项之电路,更包含以下: 一第二波导,其系形成于该半导体基板中;及 一第二多个光学侦测器,其系沿着该第二波导之长 度序列放置,该第二多个光学侦测器之各光学侦测 器可侦测传经光学侦测器之一第二光学信号,并对 该第二光学信号足够透明以使该第二光学信号可 到达且可被所有第二多个光学侦测器侦测到。 9.根据申请专利范围第8项之电路,更包含有一光学 分离器,其系形成于该半导体基板中用以接收一光 学输入信号,并将其分成第一与第二光学输出信号 ,其中该第一波导耦合至该分离器以接收该第一光 学输出信号,且该第二波导耦合至该分离器以接收 该第二光学输出信号。 10.根据申请专利范围第1项之电路,其中该多个光 学侦测器之各侦测器系被序列放置在波导内。 11.根据申请专利范围第8项之电路,其中该第一提 及之多个光学侦测器之该等光学侦测器系被序列 放置在该第一提及之波导内,且该第二之多个光学 侦测器之该等光学侦测器系被序列放置在该第二 波导内。 12.一种电路,该电路至少包含: 一第一半导体基板,其系包含有一形成于其中以沿 着一波导所定义之一光学路径而承载一光学信号 的光学波导; 多个光学侦测器,其系序列放置于该波导之该光学 路径,各光学侦测器可侦测穿过光学侦测器之一光 学信号,且也对该光学信号足够透明以使该光学信 号到达而被所有上述多个侦测器侦测到;及 一第二半导体基板,其系制造于该第一提及之半导 体基板顶端,该第二半导体基板包含制造于其中之 半导体积体微电子电路,其中多个光学侦测器的每 一者各电连接至该第二半导体基板中之微电子电 路。 13.根据申请专利范围第12项之电路,其中该基板系 矽,且该波导系SiGe(矽锗)。 14.根据申请专利范围第12项之电路,其中该波导系 呈弯曲状。 15.根据申请专利范围第12项之电路,其中该波导系 呈螺旋状。 16.根据申请专利范围第12项之电路,其中该光学信 号系一光学时脉信号。 17.根据申请专利范围第12项之电路,其中该多个光 学侦测器之各侦测器系被序列放置在波导内。 18.根据申请专利范围第12项之电路,其中该多个光 学侦测器之所有者系设计以在相同波导侦测光。 图式简单说明: 第1图举例说明一H树状光学信号散布网路。 第2图举例说明实施该连续路由概念之一光学信号 散布网路。 第3图举例说明经由单一线上波长选择侦测器之波 长相依多工之使用。 第4图举例说明亦实施该连续路由概念之另一光学 信号散布网路。 第5图举例说明亦实施该连续路由概念之另一光学 信号散布网路。 第6图举例说明可利用该连续路由概念之一光学准 备基板之概念。
地址 美国