| 主权项 |
1.一种基板传输装置,包括: 一壳体,包括一前开口以及一后开口; 复数个中空支撑元件,设于该壳体之中,每一中空 支撑元件具有一个或一个以上的开孔,形成于该中 空支撑元件的一上表面之上;以及 一流体供应装置,对于该等中空支撑元件供应一流 体; 其中,由该流体供应装置所供应的该流体从该等开 孔喷出,以支撑一基板,并在该等中空支撑元件以 及该基板之间形成一间隙。 2.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,该开孔形状包含圆形、矩形、多角形或长条状。 3.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,该流体以高于大气压力的一压力从该等中空支撑 元件喷出。 4.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,该等中空支撑元件用于喷出该流体以支撑该基板 。 5.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,该壳体包括一对相对的侧壁,且该等中空支撑元 件延伸于该等侧壁之间。 6.如申请专利范围第5项所述之基板传输装置,其中 ,该等中空支撑元件横列于该等侧壁之间。 7.如申请专利范围第5项所述之基板传输装置,其中 ,每一侧壁包括复数柱。 8.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,该流体供应装置包括一多指吹气装置,以可选择 的方式于水平方向以及垂直方向移动。 9.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其中 ,每一中空支撑元件的一下表面均不具有开孔。 10.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,位于该后开口的该等中空支撑元件的高度高于 位于该前开口的该等中空支撑元件的高度,而位于 该壳体中的该基板系朝该壳体的该前开口倾斜。 11.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,该等中空支撑元件呈管状。 12.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,该流体供应装置包括一压缩机,用于压缩该流 体,并将压缩后的该流体朝该等中空支撑元件输送 。 13.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,该流体供应装置包括一吹气装置,该吹气装置 包括一吹送风扇以及一驱动马达。 14.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,更包括一控制单元,用于对一吹气装置输出一 控制讯号,藉此控制供应至该中空支撑元件的该流 体的压力。 15.如申请专利范围第1项所述之基板传输装置,其 中,该基板包括一玻璃基板。 16.一种将一基板输入及输出一壳体的方法,该方法 包括: 提供一壳体,该壳体包括一对相对的侧壁,一前开 口、一后开口以及复数个中空支撑元件; 将一流体注入于该等中空支撑元件,该等中空支撑 元件包括复数个开孔,形成于该等中空支撑元件的 上表面,以供该流体喷出; 置入一基板,当该基板的一第一边缘置入该壳体之 中时,该基板大致上平行于该等中空支撑元件的该 上表面,喷出的该流体冲击该基板的该下表面,并 将该基板浮起;以及 将该基板从该壳体输出。 17.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,该注入流体的步骤包括 注入一压缩流体。 18.如申请专利范围第17项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,该注入压缩流体的步骤 包括将该流体的一压力调整至一预定压力。 19.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,该注入步骤包括以一吹 气装置注入气体。 20.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其更包括一控制该流体压力的 步骤,以将该基板与该等中空支撑元件之间维持一 预定距离。 21.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,将该基板传送输出该壳 体的步骤包括以一小型马达传送该基板。 22.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,将该基板传送输出该壳 体的步骤包括以一金属簧片传送该基板。 23.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,将该基板传送输出该壳 体的步骤包括对该基板的一第二边缘施加一输出 方向的力。 24.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,将该基板置入的步骤包 括同时置入复数个基板于该壳体之中。 25.如申请专利范围第16项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,将该基板传送输出该壳 体的步骤包括从该壳体同时输出复数个基板。 26.如申请专利范围第17项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,注入该压缩流体的步骤 包括注入一压缩气体。 27.如申请专利范围第26项所述之将该基板输入及 输出该壳体的方法,其中,注入该压缩气体的步骤 包括注入一压缩空气。 图式简单说明: 第1图系显示习知之基板支撑结构; 第2图系显示另一种习知之基板支撑结构; 第3A图系显示本发明之基板传输装置的立体图; 第3B图系显示支撑元件的截面图; 第4图系显示本发明之基板传输装置的前视图; 第5图系显示本发明之基板传输装置的侧视图; 第6图系显示本发明之变化例的侧视图; 第7图系显示本发明之基板传输装置搭配有一基板 移出手段的情形; 第8图系显示本发明之卡式收纳站系统。 |
