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发明名称 Dampfphasenabscheidung von hydriertem Silsesquioxanharz
摘要
申请公布号 DE69211425(D1) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE1992611425 申请日期 1992.05.12
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 GENTLE, THERESA EILEEN, MIDLAND, MI, US
分类号 C01B33/12;B05D7/24;C09D4/00;C09D183/04;C23C16/00;C23C16/27;C23C16/40;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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