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发明名称 Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE4303423(C2) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE19934303423 申请日期 1993.02.05
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 LANG, WALTER, DR.-ING., 8000 MUENCHEN, DE;FOLKMER, BERND, DIPL.-ING., 8000 MUENCHEN, DE
分类号 G01F1/684;G01F1/688;G01P5/10;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84;G01J5/12;G01K7/02;H01L21/302;H01L35/32 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
主权项
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