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发明名称 Batchverfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69120193(D1) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE19916020193 申请日期 1991.09.09
申请人 GASONICS INC., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 BOITNOTT, CHARLES, HALF MOON BAY, CALIFORNIA 94019, US;TOOLE, MONTE M., SAN CARLOS, CALIFORNIA 94070, US
分类号 B05D5/12;C23C16/40;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/677;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 B05D5/12
代理机构 代理人
主权项
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