发明名称 Ionenstrahl-Stellungssensor
摘要
申请公布号 DE3855060(T2) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE19883855060T 申请日期 1988.09.15
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 SZAJNOWSKI, WIESLAW JERZY, GUILDFORD SURREY, GU1 2AX, GB
分类号 H01J37/04;G06F17/10;H01J37/317;(IPC1-7):G01T1/29 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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