发明名称 Apparat zum Prüfen von Unterbrechungen/Kurzschlüssen bei kapazitiv gekoppelten Netzen in Substraten unter Verwendung von Elektronenstrahlen
摘要
申请公布号 DE69024390(T2) 申请公布日期 1996.07.18
申请号 DE19906024390T 申请日期 1990.02.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GOLLADAY, STEVEN DOUGLAS, HOPEWELL JUNCTION, NEW YORK 12533, US;HOHN, FRITZ JUERGEN, SOMERS, NEW YORK 10589, US;HUTSON, DAVID JOSEPH, APALACHIN, NEW YORK 13732, US;MEISBURGER, WILLIAM D., SAN JOSE, CA 95120, US;RASCH, JUERGEN, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US
分类号 G01R31/302;G01Q60/40;G01R19/00;G01R19/165;G01R31/305;G01R31/307;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/305 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
地址