研磨剂组成物及研磨方法

摘要

本发明系提供一种研磨剂组成物，对被研磨物的研磨速度快以及良好的高低差消除性并存，又提供可抑制配线电阻的上升且快速地研磨配线金属，且高低差消除性佳之研磨方法。该研磨剂组成物包含研磨粒；氧化剂；铵离子；多元羧酸离子；五亚乙基六胺、三亚乙基四胺与四亚乙基五胺所成群中所选出之至少1种螫合剂；以及，水系媒体。而且使用该研磨剂组成物，于树脂基材1上设置配线沟2，于配线沟2埋入配线金属3后，研磨配线金属3之研磨方法。