发明名称 | 卧式三维运动多弧镀膜装置 | ||
摘要 | 一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置,其特征在于:所述的弧靶在炉体内呈间隔设置;炉体内设置有带往复运动机构的台车,所述的挂件架固定在上述的台车上;设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。能加工长度超过3米的工件,具有弧靶总功率小、炉体长度短、设备投资少等优点。 | ||
申请公布号 | CN2231261Y | 申请公布日期 | 1996.07.17 |
申请号 | CN95244082.2 | 申请日期 | 1995.05.30 |
申请人 | 朱英臣;侯跃清 | 发明人 | 朱英臣;侯跃清 |
分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
代理机构 | 上海市郊县工业专利事务所 | 代理人 | 赵永莉 |
主权项 | 1.一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置,其特征在于:所述的弧靶在炉体内呈间隔设置;炉体内设置有带往复运动机构的台车,所述的挂件架固定在上述的台车上;设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。 | ||
地址 | 116012辽宁省大连市西岗区三元街142号 |