发明名称 卧式三维运动多弧镀膜装置
摘要 一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置,其特征在于:所述的弧靶在炉体内呈间隔设置;炉体内设置有带往复运动机构的台车,所述的挂件架固定在上述的台车上;设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。能加工长度超过3米的工件,具有弧靶总功率小、炉体长度短、设备投资少等优点。
申请公布号 CN2231261Y 申请公布日期 1996.07.17
申请号 CN95244082.2 申请日期 1995.05.30
申请人 朱英臣;侯跃清 发明人 朱英臣;侯跃清
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 上海市郊县工业专利事务所 代理人 赵永莉
主权项 1.一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置,其特征在于:所述的弧靶在炉体内呈间隔设置;炉体内设置有带往复运动机构的台车,所述的挂件架固定在上述的台车上;设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。
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