发明名称 Field-effect-transistor with gate spacer
摘要
申请公布号 EP0424019(B1) 申请公布日期 1996.07.17
申请号 EP19900311087 申请日期 1990.10.10
申请人 AT&T CORP. 发明人 LEE, KUO-HUA;LU, CHIH-YUAN;SUNG, JANMYE
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/033 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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