| 发明名称 |
WIRING PATTERN INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08184631(A) |
申请公布日期 |
1996.07.16 |
| 申请号 |
JP19940338065 |
申请日期 |
1994.12.27 |
| 申请人 |
FUJI MICRO KOGYO KK;NHK SPRING CO LTD |
发明人 |
HIO YOSHIAKI;YAMADA YOSHIO |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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