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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH08186102(A)
申请公布日期
1996.07.16
申请号
JP19940326226
申请日期
1994.12.27
申请人
NEC CORP
发明人
SHIGEMURA KOJI
分类号
H01L21/306;B41J2/05;B41J2/16;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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