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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08186171(A) 申请公布日期 1996.07.16
申请号 JP19940327574 申请日期 1994.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 SAKO TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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