| 摘要 |
本发明的目的在于提供能够回避异常放电,使托匣内的复数个印刷基板的电浆洗净能够均一地进行之电浆洗净装置。本发明系将真空腔室(1)设为预定的真空状态,并将从高频电源(10)而来的高频电压透过自动整合器(11)施加高频电压于左部电极(2)、右部电极(3)。于是,电浆反应气体经由真空腔室(1)的左右侧壁的导入口(1A)、(1B)导入至该真空腔室(1)内,接着,导入至该真空腔室内(1)并再贯通左部电极(2)及右部电极(3)而供给至两电极(2)、(3)间之做为电浆反应气体的氧气系被电浆化,氧系自由基化。接着,自由基化之氧系与付着于上述托匣(7)内的印刷基板(6)之污染物质发生化学反应,并经由开设于上述真空腔室(1)的后壁之排出口(1C)排出。 |
