发明名称 一种利用超临界流体去除残留聚合物的溶剂减耗方法
摘要 一种利用超临界流体去除残余聚合物的溶剂减耗方法,首先在超临界流体中添加过量的氧化剂,过量的氧化剂形成多个液滴,此些液滴氧化降解(oxidative degradation)残余聚合物,残余聚合物氧化降解后成为多个随机断键产物(random chain scission products)而可以被超临界流体传输;本发明之方法既能去除残余聚合物又符合环境保护的目的。
申请公布号 TW200817104 申请公布日期 2008.04.16
申请号 TW095137194 申请日期 2006.10.05
申请人 国立清华大学 发明人 凌永健;罗大伦
分类号 B08B3/08(2006.01);H01L21/306(2006.01) 主分类号 B08B3/08(2006.01)
代理机构 代理人 许乃丹
主权项
地址 新竹市光复路2段101号