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一种利用超临界流体去除残留聚合物的溶剂减耗方法
摘要
一种利用超临界流体去除残余聚合物的溶剂减耗方法,首先在超临界流体中添加过量的氧化剂,过量的氧化剂形成多个液滴,此些液滴氧化降解(oxidative degradation)残余聚合物,残余聚合物氧化降解后成为多个随机断键产物(random chain scission products)而可以被超临界流体传输;本发明之方法既能去除残余聚合物又符合环境保护的目的。
申请公布号
TW200817104
申请公布日期
2008.04.16
申请号
TW095137194
申请日期
2006.10.05
申请人
国立清华大学
发明人
凌永健;罗大伦
分类号
B08B3/08(2006.01);H01L21/306(2006.01)
主分类号
B08B3/08(2006.01)
代理机构
代理人
许乃丹
主权项
地址
新竹市光复路2段101号
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