微机电系统装置及其之制造方法

摘要

一种MEMS装置,包括:一晶片载体,其具有一个从晶片载体第一表面延伸至第二表面的声音埠;一MEMS模,系被设置于晶片载体上,以便在晶片载体的第一表面覆盖此声音埠;以及一封盖,系黏接于此晶片载体,且封装此MEMS模。