| 发明名称 |
DISCRIMINATION METHOD FOR MASK DIAMETER IN X-RAY ANALYSIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08184573(A) |
申请公布日期 |
1996.07.16 |
| 申请号 |
JP19940340443 |
申请日期 |
1994.12.27 |
| 申请人 |
RIGAKU IND CO |
发明人 |
TODA KATSUHISA;KURAOKA MASAJI |
| 分类号 |
G01N23/223;G01N1/28;(IPC1-7):G01N23/223 |
主分类号 |
G01N23/223 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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