| 发明名称 |
INSPECTION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08184612(A) |
申请公布日期 |
1996.07.16 |
| 申请号 |
JP19940339647 |
申请日期 |
1994.12.28 |
| 申请人 |
YAMAICHI ELECTRON CO LTD |
发明人 |
SUZUKI NOBUSHI;OKUMA MASASHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
