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经营范围
发明名称
METAL FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH08186083(A)
申请公布日期
1996.07.16
申请号
JP19940326725
申请日期
1994.12.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
MITANI KATSUHIKO
分类号
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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