发明名称 FLATTENING AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08181134(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940318507 申请日期 1994.12.21
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASHIMA NAOKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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