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发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08181130(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940324837 申请日期 1994.12.27
申请人 OSAKA GAS CO LTD 发明人 INOUE NAOKI;NAKAOKA HARUYUKI;AZUMA HIDEKI;YANAGISAWA TORU;MORIKAWA SHIGERU;KOBAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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