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发明名称 PARTICLE SAMPLER
摘要
申请公布号 JPH08181096(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940324532 申请日期 1994.12.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 IWASAKI MOTOAKI;TAKIZAWA YUJI
分类号 G01N15/00;G01N1/02;G01N1/24;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 G01N15/00
代理机构 代理人
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