| 发明名称 |
CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE RESIST SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08179500(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
| 申请号 |
JP19940335607 |
申请日期 |
1994.12.21 |
| 申请人 |
JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD |
发明人 |
OTA TOSHIYUKI;TANABE TAKAYOSHI;TSUJI AKIRA |
| 分类号 |
G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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