发明名称 LIQUID CONSTANT QUANTITY TRANSPORT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08178197(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940322662 申请日期 1994.12.26
申请人 NEC CORP 发明人 TSUNENARI KINJI
分类号 F17D3/01;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;F04D33/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):F17D3/01;H01L21/306 主分类号 F17D3/01
代理机构 代理人
主权项
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